12” wafer 측정을 위한 Full-automation

특허 받은 Head tip/tilt 모드, Dual-LED source 등을 통한 완벽한 자동화 측정
내부 Laser 자체 교정 및 통합 진동 방지 시스템
다양한 Stitching 모드로 원하는 영역 자동 탐색 측정

모든 표면을 누구나 쉽게 측정

간편한 측정으로, 여러 사용자가 동일한 측정 결과 확보 가능

강화된 Find surface 기능으로 표면 간섭 무늬 자동 탐색

사용자 친화적인 측정/분석 S/W, 편리하고 간소화된 recipe 활용

USI (Universal Scanning Interferometry) 탑재

수십 마이크론 범위에서도 nm 수준의 해상도를 유지할 수 있도록 최적 모드 결정
Multiple Region, Thin-film 측정 등 사용자에게 필요한 호환 패키지 구성