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Dektak XTL™ 스타일러스 프로파일러는 최대 350mm x 350mm크기의 샘플을 측정할 수 있으며, 대형 웨이퍼 및 패널 제조에서 최고의 반복성과 재현성을 제공합니다. Dektak XTL은 공압 진동 차단 기능과, 소음 및 기류를 차단하는 완전히 밀폐된 워크 스테이션의 특징을 갖추고 있어, 최신 기술을 바탕으로 한 까다로운 생산 현장 환경에 이상적입니다. Dual Camera Architecture를 통해 공간 인식 범위를 개선하여, 높은 수준의 자동화로 제조 처리량을 극대화합니다.
최고의 자동화 측정 및 분석
Automation recipe로 300mm 전면적 자동 측정, 결과를 DB로 저장 관리
Pattern Recognition : 패턴 자동 인식으로 정확한 자동화 align
Thin film Stress (Compressive, Tensile) 측정
300mm encoded 자동화 XY stage
자동화 측정 화면
특정 측정 위치 지정, 또는 grid 방식 측정 영역 자동 지정
간편한 스타일러스 교체
Dektak PRO의 스타일러스 자동 정렬 기능을 통하여 사용자는 작업 도중 실수 없이 스타일러스 침 크기를 변경할 수 있습니다. BRUKER는 어떠한 경우에도 사용할 수 있도록 다양한 크기의 스타일러스를 제공합니다.
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